Piezoresistiver Sensor

Piezo ist griechisch und steht für Druck. Piezoresistive Sensoren ändern aufgrund einer Krafteinwirkung ihren spezifischen Widerstand. Diese Sensoren bezeichnet man auch als Piezowiderstände.
Piezoresistive Sensoren sind Halbleiter aus Silizium. Das Widerstandsmaterial befinden sich in einer dünnen Silizium-Membran. Auf Druck verändert der Piezowiderstand seinen Wert.
Piezoresistive Sensoren aus Silizium lassen sich sehr klein und preiswert herstellen.

Anwendung

Der piezoresistive Effekt lässt sich zur Messung von Druck, aber auch von Feuchte oder Gaskonzentrationen verwenden. Zum Beispiel dann, wenn die Membran sich aufgrund von Kontakt zu Feuchte oder Gasen im Volumen verändert und Druck auf den Piezowiderstand ausübt.
Es werden auch Polymerschichten entwickelt, die auf Stoffe reagieren und ihre Form oder das Volumen ändern. Dadurch reagieren die Piezowiderstände mit einer Widerstandsänderung. Piezoresistive Sensoren eignen sich deshalb für eine Vielzahl von Anwendungen.